Un fabricant de composants optiques de haute technologie était aux prises avec des taux de rendement pendant la phase d'exposition et de durcissement de la fabrication de micro-lentilles au niveau des tranches.

• Incohérence de l'irradiation :Les lampes UV traditionnelles ne parvenaient pas à assurer une répartition uniforme de la lumière sur de grandes surfaces de substrat. Une faible intensité lumineuse aux marges a conduit à une polymérisation incomplète et à des taux de rejet de produits élevés.

• Dilatation thermique :La chaleur infrarouge excessive a déformé les structures délicates des lentilles submicroniques pendant le processus de photolithographie et de durcissement.

Au lieu des ampoules au mercure ou des méthodes de distribution traditionnelles, nous avons déployé unSystème de durcissement par inondation par LED UV à haute uniformitéspécialement conçu pour le traitement optique de qualité semi-conducteur :

• Exposition à la résine enduite par centrifugation :Le système offre une exposition par inondation sur toute la surface directement à la couche de résine photorésistante/UV recouverte par centrifugation à travers un photomasque.

• Conception optique avancée :Les lentilles conçues sur mesure optimisent la distribution de la lumière, ce qui donne un résultat de pointeuniformité de l'irradiation de ± 3 %sur toute la zone de durcissement.

• Véritable source de lumière froide :Fonctionnant à une vitesse préciseSpectre à bande étroite de 365 nm, le système élimine le rayonnement infrarouge, maintenant le substrat à température ambiante pour protéger les microstructures de la déformation thermique.

• Cohérence du produit irréprochable :Les taux de rejet causés par des défauts de durcissement des bords ont chuté àzéro, grâce au champ lumineux UV ultra-uniforme.

• Intégrité structurelle submicronique :L'élimination des contraintes thermiques garantissait une parfaite stabilité dimensionnelle aux lentilles de Fresnel de haute précision.

• Efficacité de production améliorée :Les capacités d'allumage/extinction instantanées des LED UV ont éliminé les temps de préchauffage, maximisant ainsi le débit pour les lignes de semi-conducteurs à grand volume.

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